3d过渡族金属杂质在硅中的行为

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本文综述了3d过渡族金属在直拉硅单晶中的扩散,溶解,沉淀及间隙位演变等性质,介绍了国际上此领域的研究进展,为进一步开展这方面的工作提供了有益的借鉴。
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