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期刊论文
3d过渡族金属杂质在硅中的行为
3d过渡族金属杂质在硅中的行为
来源 :材料科学与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jeanndy
【摘 要】
:
本文综述了3d过渡族金属在直拉硅单晶中的扩散,溶解,沉淀及间隙位演变等性质,介绍了国际上此领域的研究进展,为进一步开展这方面的工作提供了有益的借鉴。
【作 者】
:
张溪文
杨德仁
【机 构】
:
浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
:
材料科学与工程
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
3d过渡族金属
内吸杂
氧沉淀
硅
IC
扩散
3d transition metals
internal gettering
oxygen
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本文综述了3d过渡族金属在直拉硅单晶中的扩散,溶解,沉淀及间隙位演变等性质,介绍了国际上此领域的研究进展,为进一步开展这方面的工作提供了有益的借鉴。
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