【摘 要】
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美国国家能源部的科学家开发出一种新型环保技术,可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质,同时不会产生大量废水。一般在生产芯片过程中,首先要使用高强光、强
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美国国家能源部的科学家开发出一种新型环保技术,可以大大减少生产电脑芯片和集成电路时所使用的腐蚀性物质,同时不会产生大量废水。一般在生产芯片过程中,首先要使用高强光、强酸和光致抗蚀剂等腐蚀性物质来改变硅片外形,刻蚀出微型集成电路及芯片,然后再用大量溶媒和超?
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