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利用分离靶电弧离子镀工艺在高速钢基体上制备TiNbN多元硬质薄膜。利用TEMP-6型强流脉冲离子束（HIPIB）设备，采用含C／H离子、加速电压300kV、脉冲宽度70ns、束流密度60A／cm^2的强流脉冲离子束对所制备的薄膜进行辐照处理，研究辐照前后膜层的摩擦磨损性能的变化。实验结果表明：HIPIB辐照以后。薄膜的表面熔化，摩擦系数降低。晶粒细化，膜层的硬度由HK3444提高到HK3820。膜基结合力由59N提高到65N。在测试载荷300N和600N条件下。薄膜的摩擦磨损性能均有较大改善。