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超纯水水质要求与集成线路
超纯水水质要求与集成线路
来源 :净水技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oikikukka
【摘 要】
:
介绍半导体及集成线路生产中的超纯水水质的要求,并介绍了ASTMD5127-99《电子及半导体工业的水质要求》
【作 者】
:
沈志平
【机 构】
:
上海野村水处理国际贸易有限公司
【出 处】
:
净水技术
【发表日期】
:
2002年S1期
【关键词】
:
超纯水
线径宽度
总有机碳(TOC)
颗粒物
溶解氧(DO)
ultra-pure water
width of line diameter
total o
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介绍半导体及集成线路生产中的超纯水水质的要求,并介绍了ASTMD5127-99《电子及半导体工业的水质要求》
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