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提出一种基于硬件解调的二维轮廓检测方法．滤波环节和微分环节由硬件电路实现，使测量分辨力达到亚像素级．该方法使边缘轮廓的检测更为简单，且提高了测量速度．还给出了这种测量的正确标定方式．通过实验找出该方法所存在的解调误差和误差修正表，经误差补偿，边缘轮廓的测量精度达到2μm（3б）．
采用硬件解调法的边缘轮廓检测及其误差补偿(英)
【摘 要】
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提出一种基于硬件解调的二维轮廓检测方法．滤波环节和微分环节由硬件电路实现，使测量分辨力达到亚像素级．该方法使边缘轮廓的检测更为简单，且提高了测量速度．还给出了这种测量的正
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
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Transactions of Tianjin University
【发表日期】
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1999年1期
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