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运用高灵敏度的共焦显微拉曼系统研究了多孔硅在纵的拉曼效应和光致发光的性质。研究结果表明多孔硅在形成的初期和后的反应机制不相同。反应初期，外表面的颗粒尺寸比内同大，而经过长时间刻蚀而获得得的多孔硅，其相表面颗粒尺寸比 小。我们认为反应的初期主要表面不均匀电场的影响，而随着表面多孔层的增厚和颗粒的细化，刻蚀反应逐渐变成受传质过程和量子尺寸约束的控制。