【摘 要】
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介绍了掠入射X射线散射法（GXRS）测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院,东北师范大学物理系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（No.40774098,No.10878004）
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介绍了掠入射X射线散射法（GXRS）测量超光滑表面的原理及基于商业用X射线衍射仪改造而成的实验装置。选择3片不同粗糙度的硅片作为实验样品,根据一级矢量微扰理论对各个样品所测量的散射分布进行处理。结果表明,GXRS法得到的样品功率谱密度函数（PSD）与使用原子力显微镜（AFM）所测量的结果基本相符。分析了探测器接收狭缝的宽度和入射光发散度对实验结果的影响,结果表明,在其他实验条件理想的情况下,当探测器接收狭缝宽度〈0.02mm,入射光发散度〈43″时,在空间频率〉0.03μm-1的范围内,由其引起的PSD函
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