【摘 要】
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LED晶粒数量统计系统依据对LED晶圆外延片划切扩膜后,利用图像识别技术进行计数,给出一般性的系统精度。对离型纸透光度不均匀造成高噪音及亮度不一致晶圆图像,结合局部图像自动分割和形态学技术,采用Sobel边缘检测算法和Graham扫描法,精确识别有效晶圆区域,排除了离型纸噪音及标签等干扰。试验证明,本系统能精确识别出有效晶圆的数量,提高LED晶粒检测的速度。
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LED晶粒数量统计系统依据对LED晶圆外延片划切扩膜后,利用图像识别技术进行计数,给出一般性的系统精度。对离型纸透光度不均匀造成高噪音及亮度不一致晶圆图像,结合局部图像自动分割和形态学技术,采用Sobel边缘检测算法和Graham扫描法,精确识别有效晶圆区域,排除了离型纸噪音及标签等干扰。试验证明,本系统能精确识别出有效晶圆的数量,提高LED晶粒检测的速度。
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