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本文介绍一种CMOS集成电路微电子测试图形——E2-PED,它是针对CMOS EEPR-OM电路的研制而设计的,也可以用于一般的CMOS电路工艺:文章描述了E2-PED所含有的各种微电子测试结构以及设计布图,给出了这些结构的构成及其作用。
一种CMOS微电子测试图形的设计
【摘 要】
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本文介绍一种CMOS集成电路微电子测试图形——E2-PED,它是针对CMOS EEPR-OM电路的研制而设计的,也可以用于一般的CMOS电路工艺:文章描述了E2-PED所含有的各种微电子测试结构
【机 构】
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华晶公司中央研究所前24所分所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1992年03期
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