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期刊论文
二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究
二氧化硅薄膜材料热传导尺寸效应的实验研究
来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:x737101013
【摘 要】
:
对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究.结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性(即size effect),
【作 者】
:
胡志新
王宏亮
张陵
【机 构】
:
西安交通大学,西安石油学院,西安交通大学
【出 处】
:
传感器技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
二氧化硅
薄膜材料
热传导
尺寸效应
微米尺寸
介质薄膜
SIO2
micrometer size
medium film
thermal conductivi
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对微米SiO2薄膜材料沿膜面方向热传导尺寸效应进行了实验研究.结果表明,膜厚从微米数量级的尺寸开始,其传热的热导率就已开始体现出鲜明的膜厚尺寸依赖特性(即size effect),经由微观能量输运理论分析后,得到了实验与理论相吻合的结果.
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