【摘 要】
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提出了一种处理石英微天平(quartz crystal microbalance, QCM)振动耦合问题的新方法.用ANSYS6.0有限元软件直接对机电耦合场进行三维有限元分析,从而避免了一般解析和半解析
【机 构】
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中国科学院材料力学行为与设计重点实验室
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提出了一种处理石英微天平(quartz crystal microbalance, QCM)振动耦合问题的新方法.用ANSYS6.0有限元软件直接对机电耦合场进行三维有限元分析,从而避免了一般解析和半解析分析中对控制方程的简化.通过对全电极晶片的振动分析,验证了计算的有效性,并找到了较好的单元尺寸比.对于部分电极晶片,分析了电极尺寸和电极区的等效厚度对有限谐振元振动特性的影响.根据本文的分析结果,提出了一些多通道石英微天平(MQCM)优化设计的建议.
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