【摘 要】
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1 主要组成Ｘ ｐｅｒｔＭＲＤ是目前国际上一种较先进的材料结构研究的高分辨Ｘ射线衍射仪 ,主要由高分辨射线测量系统、薄层、薄膜掠入射和全反射测量系统、织构与应力测量系统与多晶衍射系统
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1 主要组成Ｘ ｐｅｒｔＭＲＤ是目前国际上一种较先进的材料结构研究的高分辨Ｘ射线衍射仪 ,主要由高分辨射线测量系统、薄层、薄膜掠入射和全反射测量系统、织构与应力测量系统与多晶衍射系统四大部分组成。1)高分辨Ｘ射线衍射测量主要针对单晶基片及其完美或点阵失配外延层
1 The main component X pertMRD is a kind of high resolution X-ray diffraction instrument which is a kind of advanced material structure research in the world at present. It mainly consists of high resolution ray measurement system, thin layer, thin film grazing incidence and total reflection measurement system, texture and stress measurement System and polycrystalline diffraction system composed of four parts. 1) High-resolution X-ray diffraction measurement is mainly for single crystal substrate and its perfect or lattice mismatch epitaxial layer
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