【摘 要】
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以无机盐SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了Sb2O3和NiO掺杂的SnO2薄膜.研究了SnO2:Sb:Ni薄膜的电学和气敏性能.实验研究表明,由于锑的掺杂,所制得
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以无机盐SnCl4@5H2O,SbCl5,NiCl2@6H2O为原料,采用溶胶-凝胶工艺制备了Sb2O3和NiO掺杂的SnO2薄膜.研究了SnO2:Sb:Ni薄膜的电学和气敏性能.实验研究表明,由于锑的掺杂,所制得的SnO2:Sb:Ni薄膜电阻较低,室温下其电阻只有120 kΩ/.而NiO作为催化剂,使其对NOx气体具有较高的灵敏度和良好的选择性.与SnO2:Sb薄膜相比,其工作温度大大降低,在常温下对NOr气体(主要成分是NO)也具有一定的灵敏度;并且水汽不影响其对NOx气体的灵敏度.SnO2:Sb:N
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