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设计了一种可用于射频（RF）通信系统中的MEM平行板可变电容，采用新颖的双间隔（two—gap）结构、金属铝极板、折叠“Y”形支撑和厚度不均的可动极板。用CoventorWare软件模拟了电容的C-V特性，当控制电压从0变化到10V时，RF信号电容相应从0．37pF增加到5．64pF，变容比约为15.24：1；用HFSS软件模拟了电容的S11参数，电容的品质因数Q在1、8GHz下约为77．78。