【摘 要】
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A new method for measuring nano-displacement is discussed.The resolution of shift is as far as 1nm. The principle of quantum tunneling effects was used to desig
【机 构】
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Wuhan University of Technology
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A new method for measuring nano-displacement is discussed.The resolution of shift is as far as 1nm. The principle of quantum tunneling effects was used to design the instrument. With the tunnel between the sample and the needlepoint and under the control of closed loop system, the instrument works at constant current mode, so that the high precision displacement can be got.
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