电容器用TiCN/Al复合铝箔的制备及其耐蚀性研究

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基于多弧离子镀技术制备了一种新的高容量电容器用TiCN/Al复合铝箔,研究了C2H2和N2流量比及沉积后冷却方式对TiCN/Al复合铝箔比电容的影响.通过极化曲线的测定,对比研究了TiCN/Al复合铝箔和传统工艺刻蚀铝箔的耐蚀性能.研究结果表明,多弧离子镀技术制备的TiCN/Al复合铝箔的比电容高达1600μF/cm2,比传统工艺刻蚀的铝箔提高约2倍.TiCN/Al复合铝箔在电容器用电解质溶液中存在较宽范围的稳定钝化区,其耐蚀性能明显高于传统工艺刻蚀铝箔.
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