磷化膜晶形的电镜分析

来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hu_20092009
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用扫描电镜系统地分析了各种磷化膜的结晶形貌,工艺因素,讨论了不同晶形产生的原因并介绍了不同晶形膜的工业用途。
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