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以某半导体芯片工厂扩建项目空调水设计为案例,通过分析半导体厂房冷热负荷点,介绍了热回收冷水机组选型以及相关水系统设计。从技术上说明了在半导体工厂应用热回收冷水机组的优势。再通过分析比较热回收机组方案和常规冷水机组+锅炉方案在投资成本和运行成本上的差异,论证了热回收冷水机组在半导体芯片工厂应用上有着显著的经济优势,应用经验值得推广。