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PZT—NiTi铁电—铁弹多层膜的制备及表征

来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：keioy

【摘 要】

：

用溶胶－凝胶法制备了ＰＺＴ压电薄膜，研制了Ａｕ／ＰＺＴ／ＰＴ／ＴｉＯ２／ＮｉＴｉ／Ｓｉ（１００）多层膜结构，用ＸＲＤ，ＡＦＭ，ＴＥＭ－ＥＤＸ和ＳＡＤ技术考察了薄膜的表面形貌，相结构演化，以及面的元素分布特性。结果表明：ＰＺＴ膜与ＮｉＴｉ合金膜的结合良好，稳定；ＰＴ层的引入，使无定型ＰＺＴ薄膜在５５０℃退

【作 者】

：

程晋荣 徐东 

【机 构】

：

上海交通大学材料学院,上海交通大学信息存储研究中心

【出 处】

：

功能材料与器件学报

【发表日期】

：

1999年4期

【关键词】

：

PZT-NiTi 多层膜 合成 微结构 介电 铁电性能 Multilayer thin films of PZT-NiTi  Combination  Micr 

【基金项目】

：

上海市重点自然科学基金,上海市科委青年基金,国家教育部“薄膜与微细技术”开放研究实验室资助

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用溶胶－凝胶法制备了ＰＺＴ压电薄膜，研制了Ａｕ／ＰＺＴ／ＰＴ／ＴｉＯ２／ＮｉＴｉ／Ｓｉ（１００）多层膜结构，用ＸＲＤ，ＡＦＭ，ＴＥＭ－ＥＤＸ和ＳＡＤ技术考察了薄膜的表面形貌，相结构演化，以及面的元素分布特性。结果表明：ＰＺＴ膜与ＮｉＴｉ合金膜的结合良好，稳定；ＰＴ层的引入，使无定型ＰＺＴ薄膜在５５０℃退火后，转变为钙钛矿结构，降低了晶化温度，并有效地抑制焦碌石相的形成；ＮｉＴｉ薄膜结晶良好；ＴｉＯ

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