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<正> 众所周知,离子注入能够的改变固体表面的物理、化学、机械等性质。例如,改变金属的导电及摩擦性质,改变光学材料的折射率。我们把离子注入技术和真空镀膜技术结合起来,在蒸发薄膜中,注入各种不同的离子,来改变薄膜组分、结构和性质,以期制取各种不同性质的薄膜。一、实验步骤
氧离子注入对铝膜导电性能的影响
【摘 要】
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<正> 众所周知,离子注入能够的改变固体表面的物理、化学、机械等性质。例如,改变金属的导电及摩擦性质,改变光学材料的折射率。我们把离子注入技术和真空镀膜技术结合起来,
【机 构】
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东北工学院,东北工学院,东北工学院,东北工学院,东北工学院,东北工学院,东北工学院,
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1983年06期
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