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期刊论文
用于MBE中的反射式高能电子衍射仪
用于MBE中的反射式高能电子衍射仪
来源 :现代机械 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wudiscl
【摘 要】
:
对用于分子束外延(MBE)中的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述;针对样品盘与RHEED系统的兼容问题,对样品盘进
【作 者】
:
杨再荣
潘金福
周勋
王基石
宁江华
丁召
【机 构】
:
贵州大学贵州省微纳电子与软件技术重点实验室
【出 处】
:
现代机械
【发表日期】
:
2009年1期
【关键词】
:
分子束外延
反射式高能电子衍射
工作原理
样品盘
强度振荡
molecular beam epitaxy (MBE)
Reflection High-Ene
【基金项目】
:
贵州省委组织部高层人才科研特助项目(ZD73011),贵州省科技厅基金(Z073085),贵州大学博士基金(X060031),贵州大学研究生创新基金资助项目(校研理工2007020).
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对用于分子束外延(MBE)中的反射式高能电子衍射仪(RHEED)的工作原理以及RHEED衍射强度振荡在测量外延生长速率的应用进行了详尽的阐述;针对样品盘与RHEED系统的兼容问题,对样品盘进行了新的设计,并进行了实验研究。
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