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对由富碲(<1mol.%)碲化铅晶体材料热蒸发制备的薄膜进行了表征.结果表明:薄膜是多晶的,具有NaCl型晶体结构,表面晶粒分布均匀,在膜层的深度方向约170 nm内富碲的组分均匀分布.对比薄膜表面抛光前后的中红外光学常数表明表面散射对薄膜光学性质的影响极小.
富碲碲化铅薄膜的晶体结构、表面形貌、元素深度分布和中红外光学常数
【摘 要】
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对由富碲(<1mol.%)碲化铅晶体材料热蒸发制备的薄膜进行了表征.结果表明:薄膜是多晶的,具有NaCl型晶体结构,表面晶粒分布均匀,在膜层的深度方向约170 nm内富碲的组分均匀分布
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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2005年1期
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