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本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管.利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径向等离子体电子密度的分布呈抛物线型.
低压等离子体直管的制备及电子密度分布测量
【摘 要】
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本文利用自主设计并搭建的低气压等离子体直管的加工平台,在高真空环境下充入工作气体,制备出可以激发等离子体的直管.利用双探针诊断法,实验测出当充入0.5Torr氩气时,管内径
【机 构】
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上海交通大学薄膜与微细加工教育部重点实验室
【出 处】
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中国科技信息
【发表日期】
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2018年3期
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