溶胶-凝胶法薄膜制备工艺及其应用

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简要评述了近年来溶胶-凝胶薄膜制备工艺的最新进展及其应用.与传统的薄膜制备工艺相比,溶胶-凝胶薄膜制备工艺过程温度低、设备简单、易于应用推广,可以在各种形状的基体上制得多元氧化物等优点,溶胶-凝胶薄膜制备工艺已在电子、光学、磁学、化学等各个领域得到广泛应用.
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