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介绍了几种常见的真空系统检漏方法,着重探讨了氦质谱检漏仪的原理和结构,分析了检漏仪的检漏过程,能够帮助工程人员快速有效地寻找到漏点,并给出了常见漏点的解决办法。为真空蒸发系统设备的检漏提供了有意义的借鉴,为设备维护人员提供了参考和帮助。
高真空蒸发系统检漏技术浅析
【摘 要】
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介绍了几种常见的真空系统检漏方法,着重探讨了氦质谱检漏仪的原理和结构,分析了检漏仪的检漏过程,能够帮助工程人员快速有效地寻找到漏点,并给出了常见漏点的解决办法。为真
【机 构】
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天津恒电空间电源有限公司
【出 处】
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电源技术
【发表日期】
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2015年3期
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