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本文介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统，简述了计算机硬件结构和软件设计原理。
CZ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统
【摘 要】
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本文介绍了ＣＺ单晶炉单晶等径生长计算机控制系统，简述了计算机硬件结构和软件设计原理。
【机 构】
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西安交通大学
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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1997年5期
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