【摘 要】
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经中国电子学会批准,由中国电子学会半导体与集成技术学会超精细加工学组与中国电子学会生产技术学会“三束”学组联合召开的全国第四届电子束、离子束、光子束学术年会将于
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经中国电子学会批准,由中国电子学会半导体与集成技术学会超精细加工学组与中国电子学会生产技术学会“三束”学组联合召开的全国第四届电子束、离子束、光子束学术年会将于今年四季度召开。本届年会将总结、交流“三届”年会以来在电子束、离子束和光子束的设备及微细加工工艺技术方面的研究与应用成果与进展。具体内容如下:
Approved by the Chinese Institute of Electronics, by the Chinese Institute of Electronics and Semiconductor Technology Institute of ultra-fine processing and the Chinese Institute of Electronics Association of Production Technology, “three-beam” group jointly held the fourth national electron beam, ion beam, photon beam academic year Will be held in the fourth quarter of this year. This annual meeting will summarize and exchange achievements and progress made in the research and application of electron beam, ion beam and photon beam equipment and microfabrication technology since the “3” annual meeting. The details are as follows:
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