电子背散射衍射的制样方法和影响花样质量的因素

来源 :物理测试 | 被引量 : 0次 | 上传用户：parabird

【摘要】

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概述了电子背散射衍射(EBSD)原理.EBSD试样的制备质量很大程度上决定着EBSD测试的可行性和花样的质量.介绍了各种抛光方法的优缺点,包括机械抛光、化学抛光、电解抛光和离子

【作者】

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詹美燕李春明

【机构】

：

华南理工大学材料学院,广东广州510641

【出处】

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物理测试

【发表日期】

：

2021年1期

【关键词】

：

电子背散射衍射(EBSD) 样品制备抛光花样

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概述了电子背散射衍射(EBSD)原理.EBSD试样的制备质量很大程度上决定着EBSD测试的可行性和花样的质量.介绍了各种抛光方法的优缺点,包括机械抛光、化学抛光、电解抛光和离子束处理等.总结了影响EBSD花样质量的因素,主要包括样品的状态、电镜参数的设置和数据获取软件参数的设置等.研究对于EBSD技术的初学者具有很好的指导作用.

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