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概述了电子背散射衍射(EBSD)原理.EBSD试样的制备质量很大程度上决定着EBSD测试的可行性和花样的质量.介绍了各种抛光方法的优缺点,包括机械抛光、化学抛光、电解抛光和离子束处理等.总结了影响EBSD花样质量的因素,主要包括样品的状态、电镜参数的设置和数据获取软件参数的设置等.研究对于EBSD技术的初学者具有很好的指导作用.