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本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵敏度的上称重技术;运用逆向模拟法的模拟体设计。这些技术的集成,是5英寸晶体生长成功的必要保证。
5英寸钽酸锂晶体生长工艺技术研究
【摘 要】
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本文着重介绍了用铱坩埚提拉法生长5英寸钽酸锂(LT)晶体的工艺过程,该工艺使用超大尺寸铱坩埚生长LT晶体;设计了稳定并可调节纵向及径向温度梯度的温场;采用了大量程、高灵
【机 构】
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国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部; 国内贸易部物资再生利用研究所晶体材料部 徐州221006; 徐州221006;
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2006年06期
【基金项目】
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江苏省技术开发专题项目资金(BE2002518)
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