【摘 要】
：
“粘连”失效常见于电容式静电驱动MEMS器件，通过建立“粘连”失效模型分析得出静电引力驱动机制导致的介质充电是其失效的根本原因。为消除介质充电问题，提出了一种新型的基于
【机 构】
：
太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心,太原理工大学新型传感器与智能控制教育部和山西省重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金(51205275,51205276);山西省青年科技研究基金(2013021017-1);国家863计划(2013AA041100);山西省科技重大专项(20121101004);山西省高等特色学科建设([2012]45)资助项目
论文部分内容阅读
“粘连”失效常见于电容式静电驱动MEMS器件，通过建立“粘连”失效模型分析得出静电引力驱动机制导致的介质充电是其失效的根本原因。为消除介质充电问题，提出了一种新型的基于静电斥力的驱动机制：通过向固定极板施加电压，利用驱动结构周围形成的不均匀电场在可动极板垂直方向上产生合力，使可动极板向上弯曲运动。结合静电斥力典型驱动结构，通过COMSOL Multiphysics仿真分析结构尺寸、驱动电压与极板最大形变量的关系。仿真结果表明：在静电斥力结构中，驱动电压与可动极板长度呈线性关系，但与垂直间距呈非线性关系，会
其他文献
最近,由于全球存储芯片价格下滑,下游分销商去库存等因素影响,全球半导体周期下行。同时美、欧、日等传统半导体强国再次将半导体产业的发展列为重点发展对象,中国大陆的半导
本文运用最简方案理论详细分析了英汉“V1+N1(+to)+V2(+N2)”结构。首先限定了“V1+N1(+to)+V2(+N2)”结构,即N1从逻辑语义理解角度讲,必须是“V2(+N2)”结构的主语。文章介
近年来,公式语(如习语,固定搭配等)因其在语言学和心理语言学研究中的特殊地位,在语言教学中也受到越来越多的关注。然而,针对公式语中最为固定同时难度也最大的习语,似乎很
目前,随着生活水平提高,自来水在大部分地区已经普及,但由于住宅分散以及楼层高,供水公司的抄表工作面临严峻的挑战,一方面入户难,另一方面抄表工作量急剧上升。在这种情况下
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield
永久中立国是一类在国际关系体系中具有特殊地位和作用的小国,但是在以大国权力体系为导向的国际关系理论中,对这类国家的研究与关注相对较少。自从1815年《维也纳条约》诞生了法理上的第一个永久中立国瑞士以来,迄今为止已有多个国家采取了永久中立战略以求保证其自身的生存与安全,但是,有一些国家借助永久中立达成了其战略目的,而另一些国家的永久中立战略却宣布了失败。本文正是从地缘政治权力结构的角度出发,以大国的
回 回 产卜爹仇贱回——回 日E回。”。回祖 一回“。回干 肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》 砧叫]们羽 制作:陈恬’＃陈川个美食
Back to yield