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太阳能传感器技术进展(二)非晶体硅太阳能传感器
太阳能传感器技术进展(二)非晶体硅太阳能传感器
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gba2008
【摘 要】
:
全文综述了太阳能传感器技术的新进展.本期集中介绍了非晶硅太阳能传感器的材料制备方法、元件制作技术、结构和特性以及实验方法和结果.
【作 者】
:
史建军
史红军
史永基
【机 构】
:
武汉军械技术士官学校,洛阳中信公司自动化所,洛阳工业高等专科学校
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2003年8期
【关键词】
:
太阳能传感器
非晶硅太阳能传感器
等离子体化学蒸镀
高频辉光放电淀积
电测磁共振
遂道复合结
a-Si:H C-a-Si:H plasma chemical v
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全文综述了太阳能传感器技术的新进展.本期集中介绍了非晶硅太阳能传感器的材料制备方法、元件制作技术、结构和特性以及实验方法和结果.
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