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本文多晶硅的发展的介绍,多晶硅的生产工艺方法,国内发展过程、现状,现在在国内面临的问题等方面的介绍。
多晶硅生产的主要工艺技术
【摘 要】
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本文多晶硅的发展的介绍,多晶硅的生产工艺方法,国内发展过程、现状,现在在国内面临的问题等方面的介绍。
【机 构】
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四川大学物理学院,
【出 处】
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科协论坛(下半月)
【发表日期】
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2008年06期
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