【摘 要】
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介绍了空间相机中的离轴非球面第三反射镜(矩形口径)在数控加工过程中在研磨和抛光阶段的检测情况.利用自行研制的非球面测量机对研磨阶段离轴非球面的面形精度进行了测量,其
【机 构】
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吉林大学,长春光学精密机械与物理研究所
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介绍了空间相机中的离轴非球面第三反射镜(矩形口径)在数控加工过程中在研磨和抛光阶段的检测情况.利用自行研制的非球面测量机对研磨阶段离轴非球面的面形精度进行了测量,其最后的研磨精度达到了1 μm(RMS).抛光阶段离轴非球面的检测采用的是补偿法,其中零位补偿器是补偿检验的关键元件.该离轴非球面的最终面形达到了在200 mm通光口径内约λ/30的精度(λ=0.632 8 μm).
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