我国国防真空计量发展概况及成就

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【摘要】

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综述了近 4 0多年来我国国防真空计量的发展概况及成就 ,内容包括真空 (全压力 )测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准 The development overview and achie

【作者】

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张涤新李得天黄良甫

【机构】

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兰州物理研究所,兰州物理研究所,兰州物理研究所甘肃兰州730000,甘肃兰州730000,甘肃兰州730000

【出处】

：

真空

【发表日期】

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2004年04期

【关键词】

：

真空计量漏率分压力质谱计真空校准装置微流量冷阴极电离规全压力极高真空膨胀法

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综述了近 4 0多年来我国国防真空计量的发展概况及成就 ,内容包括真空 (全压力 )测量与校准、分压力测量与校准、气体微流量测量与校准 The development overview and achievement of China’s defense vacuum measurement in recent 40 years are summarized, including vacuum (full pressure) measurement and calibration, partial pressure measurement and calibration, gas micro-flow measurement and calibration

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