【摘 要】
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设计一有效口径为120 mm的连续镜面、分立促动器的变形反射镜并进行了检测实验。以产生离焦、像散和彗差为目标，对变形镜的各项参数进行了优化，优化后的变形镜支撑有9个促动器和3个固定支撑点。固定点用于实现变形镜的定位，促动器用于镜面面形的控制。促动器采用了直线步进电机配合弹簧的结构，将电机的步进位移转换为力，在一定的线性范围内实现高精度的力促动。变形镜的检测设备采用了4D动态干涉仪，经响应函数的确定、校正力的求解和施加以及镜面再检测的步骤后，得到的实验结果表明变形镜能够产生高精度离焦、像散和彗差，且具有较大
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033中国科学院研究生院,北京100049
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设计一有效口径为120 mm的连续镜面、分立促动器的变形反射镜并进行了检测实验。以产生离焦、像散和彗差为目标，对变形镜的各项参数进行了优化，优化后的变形镜支撑有9个促动器和3个固定支撑点。固定点用于实现变形镜的定位，促动器用于镜面面形的控制。促动器采用了直线步进电机配合弹簧的结构，将电机的步进位移转换为力，在一定的线性范围内实现高精度的力促动。变形镜的检测设备采用了4D动态干涉仪，经响应函数的确定、校正力的求解和施加以及镜面再检测的步骤后，得到的实验结果表明变形镜能够产生高精度离焦、像散和彗差，且具有较大的动态范围。
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