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设计了一种多级低压电渗流微泵。该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成。芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道，从而达到提供不同大小的流量和承受不同背压的目的。对芯片的加工工艺流程进行了说明，同时对微泵进行了试验研究。实验结果表明：在低压下，该泵能够驱动通道中的液体。
多级低压电渗流微泵的设计、加工及测试
【摘 要】
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设计了一种多级低压电渗流微泵。该微泵系统主要由直流电源和蚀刻微通道的芯片等部分组成。芯片是在一块硅基片上蚀刻6组尺寸不同的微通道，从而达到提供不同大小的流量和承受
【机 构】
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东南大学机械工程学院
【出 处】
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中国制造业信息化：学术版
【发表日期】
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2008年1期
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