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Comprehensive study of crystalline AlN/sapphire templates after high-temperature annealing with vari

来源 :半导体学报:英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Fish_FF1314

【摘 要】

：

High-quality AlN/sapphire templates were fabricated by the combination of sputtering and high-temperature(HT)annealing.The influence of sputtering parameters in

【作 者】

：

Wen Gu Zhibin Liu Yanan Guo Xi 

【机 构】

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ResearchandDevelopmentCenterforSolid-StateLighting,CenterofMaterialsScienceandOptoelectronicsEnginee

【出 处】

：

半导体学报:英文版

【发表日期】

：

2020年12期

【关键词】

：

SPUTTER ANNEALING ALN dislocation density 

【基金项目】

：

This work was supported by the National Key R&D Program of China(Nos.2016YFB0400800 and 2017YFB0404202),the National Natural Sciences Foundation of China(Grant Nos.61527814,61674147,61904176,U1505

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High-quality AlN/sapphire templates were fabricated by the combination of sputtering and high-temperature(HT)annealing.The influence of sputtering parameters including nitrogen flux,radio frequency power,and substrate temperature on the crystalline qualit

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