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MEMS传感器作为MEMS器件的核心部件,能够充分发挥微机械加工等技术手段来排除外界的负面干扰,从而体现出传感器的智能化和多功能化等应用优势.MEMS传感器在体积、功能和灵敏性等方面均表现出了明显的优势.自上世纪发展至今,已经取代了传统传感器的地位,成为市场上主要的应用设备类型.
MEMS传感器技术发展及应用分析
【摘 要】
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MEMS传感器作为MEMS器件的核心部件,能够充分发挥微机械加工等技术手段来排除外界的负面干扰,从而体现出传感器的智能化和多功能化等应用优势.MEMS传感器在体积、功能和灵敏性等方面均表现出了明显的优势.自上世纪发展至今,已经取代了传统传感器的地位,成为市场上主要的应用设备类型.
【机 构】
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广东电网有限责任公司中山供电局,广东 中山 528400
【出 处】
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电子元器件与信息技术
【发表日期】
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2021年7期
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