【摘 要】
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一、引言摆在半导体工业面前最严重的问题之一,是如何制造尺寸精确而无缺陷的光掩膜。掩膜的质量改进越大,则集成电路和大规模集成电路成品的生产率越高。在这方面,人们正以
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一、引言摆在半导体工业面前最严重的问题之一,是如何制造尺寸精确而无缺陷的光掩膜。掩膜的质量改进越大,则集成电路和大规模集成电路成品的生产率越高。在这方面,人们正以极大的兴趣期待着对光掩膜微型图象的测量和检查技术的发展。最近己研制出多种检验装置。下面将叙述作者曾参加过设
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