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电浆制程技术巨擘Surface Technology Systemsplc（STS）日前宣布，该公司新一代Pegasus晶圆深层蚀刻机（DRIE）已争取到德国自动化MEMS设备制造大厂博世（Robert Bosch GmbH）的订单。这也是Pegasus自从2005年6月28日公开问世以来，所接获的第五张重要订单。