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针对现有静电微泵性能仿真存在耗时长、需要参数多的问题,建立一种简单、准确的用于描述微泵端点特性的模型.使用端点特性建模技术,由拉格朗日方程得出微泵的运动方程,并给出了静电微泵的端点特性模型和流量表达式;利用能量耦合法和ANSYS分析软件,由宏模型的动态响应方程仿真静电微泵腔的端点特性量关系式.对静电微泵进行动态特性仿真研究,分析结果表明只需泵膜半径、泵膜厚度、静电间隙等参数就能分析微泵腔的动态响应,减少了计算过程的复杂性.