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分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系
【摘 要】
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分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
【机 构】
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中原工学院基础部,郑州磨料磨具磨削研究所,郑州市环境保护监测中心站
【出 处】
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郑州纺织工学院学报
【发表日期】
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2001年3期
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