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单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系
单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系
来源 :郑州纺织工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:edison_young
【摘 要】
:
分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
【作 者】
:
方莉俐
陈锋
文德振
【机 构】
:
中原工学院基础部,郑州磨料磨具磨削研究所,郑州市环境保护监测中心站
【出 处】
:
郑州纺织工学院学报
【发表日期】
:
2001年3期
【关键词】
:
同质外延
单晶金刚石膜
晶面指数
薄膜品质
epitaxial growth
diamond film
crystal face
relationship
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分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
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