【摘 要】
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采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统.系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量.对于面内运
【机 构】
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华中科技大学机械学院微系统研究中心
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采用集成频闪成像、计算机微视觉和显微干涉技术,研制了微机电系统(MEMS)三维静动态测试系统.系统可进行MEMS面内刚体运动、表面形貌、垂向变形和离面运动的测量.对于面内运动测量,提出了基于立方样条插值的亚像素步长相关模板匹配算法,从MEMS视觉图中提取面内位移,匹配精度为0.02 pixels.对于离面运动测量,采用Hariharan 5步相移干涉(PSI)算法和去包裹算法,离面运动测量分辨率可达1 nm.通过对Si微压力传感器膜和Si微陀螺仪的静动态测试,验证了系统的适用性和可靠性.
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