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设计了管内三甲基氯硅烷和氨气连续化制备六甲基二硅氮烷的反应工艺,实验结果表明,此工艺可以连续制备六甲基二硅氮烷,实验中还探究了进料流量、进料液浓度配比、气液原料比对反应程度的影响。混合液流量3.6mL/min、液体进料TMS-MM体积比1∶3、进料氨气与液体摩尔比1.5∶1为反应的最佳条件。在此条件下,氨气利用率基本达到100%,TMS转化率达到99%以上,副产物氯化铵不会堵塞管路。