论文部分内容阅读
Virtus推出MEMS运动传感器件;SussMicroTec公司推出用于MEMS的CB系列晶圆键合机;STS和XACTIX公司推出一种可用于MEMS量产的新XeF2刻蚀系统;原子级精度的新型纳米定位仪。
产品
【摘 要】
：
Virtus推出MEMS运动传感器件;SussMicroTec公司推出用于MEMS的CB系列晶圆键合机;STS和XACTIX公司推出一种可用于MEMS量产的新XeF2刻蚀系统;原子级精度的新型纳米定位仪。
【出 处】
：
微纳电子技术
【发表日期】
：
2009年1期
其他文献
<正> 察尔汗盐湖灶我国最大的钾镁盐湖,钾盐资源主要赋存在钠盐层的晶间卤水中,晶间卤水主要含KCl、NaCl、MgCl2。卤水自然蒸发浓缩结晶路线是:首先结晶氯化钠,其次结晶光卤
本文对４１例肝肺综合征（Ｈｅｐａｔｏ ｐｕｌｍｏｎａｒｙ ｓｙｎｄｒｏｍｅ ＨＰＳ）患者进行临床分析，认为ＨＰＳ患者的发病机理是动脉血氧饱和度降低和肺内毛细血管扩张，而临床上以低氧血症为首要表现，血氧饱和度小于１０ｋＰａ占６６％。对将ＨＰＳ并重症肝炎患者
近年来,我国油气储运基础设施建设呈现飞速发展的势头,在技术与综合管理等方面正逐步迈向标准化进程。但与任何发展中的基础设施建设相同,我国的油气储运标准化建设也存在一
<正> 自1994年以来,我们用中医刮痧法联合健肝灵、强力宁治疗慢性乙型肝炎27例,报告如下。 1 临床资料 根据1995年北京全国病毒性肝炎和寄生虫学术会议的诊断标准,且符合以下
项目能否按照要求,在规定的时间内完成并通过验收,取决于项目的进度控制。良好的进度控制有利于项目管理更好的控制生产周期和成本,进度管理是项目经理在项目管理和项目控制
汉字在现代中日语言中被广泛使用,这给中国人日语学生者(以下统称'学习者')带来潜在优势,同时也使学习者极易产生理解与表达偏误。本文通过调查学习者在日语汉字使用
针对颚钢７５ｍ＾２烧结机抽风机叶轮磨损严重的情况，进行了分析研究。提出了加衬板，时磨层的修补方法。介绍了采用该方法进行叶轮修得的效果及分获得的经济效益。
目前，西方发达国家商业银行中间业务与其资产业务、负债业务“三分天下”，是其主要利润来源之一，一般占其总收入的30%以上，且其发展速率呈越来越快之势，我国银行业目前存在的信贷