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制作粗糙度参数可控表面的理论及实验研究
制作粗糙度参数可控表面的理论及实验研究
来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Youmi8787
【摘 要】
:
分析了用光刻胶记录激光散斑来制作粗糙度参数可控表面的方法,并成功地制作一批样品。这些样品表面具有连续平滑的起伏轮廓,符合粗糙度表面散射研究的理论模型,也可用作相位板。
【作 者】
:
何毅
吴健
【机 构】
:
电子科技大学应用物理研究所
【出 处】
:
中国激光
【发表日期】
:
1997年7期
【关键词】
:
粗糙度
激光散斑
光刻胶
全息技术
轮廓图
相位板
理论模型
高斯分布
激光束
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分析了用光刻胶记录激光散斑来制作粗糙度参数可控表面的方法,并成功地制作一批样品。这些样品表面具有连续平滑的起伏轮廓,符合粗糙度表面散射研究的理论模型,也可用作相位板。
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