单频调谐的XeCl*准分子激光器

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shidai19860115
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In this paper, we apply laser induce breakdown spectroscopy (LIBS) to determine the elemental composition of dif-ferent parts (root, stem and seed) of the rice plant and determine their weighted concentration using calibration free laser induced breakdown
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实验研制了针对波长248 nm KrF准分子激光的零级抑制石英相位掩模器。用双层掩蔽和图形转移技术,在双面抛光的石英基片上以CHF3/O2为反应气体,用反应离子刻蚀技术制作了具有良好完整性、周期1.085 μm的石英相位掩模器。实际测量表明其零级衍射效率被抑制到5.97%。
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