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基于计及边缘效应的矩形平行板的静电力计算公式，建立了扭转微镜的动力学模型，采用Rom—berg数值积分法计算驱动力，并借助迭代修正齐次扩容精细积分法求解非线性动力方程。数值计算结果表明：电压、微镜和电极的几何尺寸等参数都会影响微镜的边缘效应，从而使微镜的动态响应产生较大的误差，在分析微镜力学性能时应考虑边缘效应的影响。