【摘 要】
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纳米技术(nano scale tech-nologh)是一门在0.1～100nm 尺度空间,研究电子,原子和分子运动规律和特性的崭新高技术学科。它的最终目标是人类按照自己的意志直接操纵单个原子,制
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纳米技术(nano scale tech-nologh)是一门在0.1～100nm 尺度空间,研究电子,原子和分子运动规律和特性的崭新高技术学科。它的最终目标是人类按照自己的意志直接操纵单个原子,制造具有特定功能的产品。这一目标的实现就意味着纳米技术改变人类生活和产生方式的时代来临了。一.微电子技术的极限人类经过真空管和晶体管的发明与发展,到如今,以集成电路为主的微电子技术已成为整个电子工业技术的支柱。微电子技术作为现代高技术的重要支柱,经历了若干发展阶段。50年代末发展起来小规模集成电路(SSI),
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