用IR研究H^+辐照对Mo涂层的影响

来源 :原子与分子物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxpwode10
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在不锈钢基体上采用离子束混合技术及电子束处理方法进行Mo薄膜沉积,沉积后的试样再进行氢离子注入.分别对氢离子注入前后的样品进行500~4000波数范围内IR分析,研究了氢离子辐照前后涂层的红外光谱振动吸收峰的变化,对Mo涂层的抗氢机理进行了探讨.
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